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先端半導体プロセスを実現するEUV（極紫外線）業界が一段と活気づいている。唯一のEUV露光機メーカーである蘭ASMLは、加工に必要な情報をより多く取り込める新型機を数年後に出荷予定だが、これに最適化したレジストやマスクなどの開発が着々と進んでいる。部材大手は先端半導体の量産拠点である韓国・…