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日本半導体製造装置協会（SEAJ、東京都千代田区、牛田一雄会長）が24日発表した日本製半導体製造装置の2月の販売高（速報値、2021年12―22年2月の3カ月平均）は、前月比4・0％減の2940億800万円で4カ月ぶりにマイナスに転じた。前年同月比では56・8％増。 SEAJは1月に21年度の販売高を前年度比40・8％…