パワー半導体需要を狙え。ニコンが27年ぶり「i線」露光装置投入 （ニュースイッチ）

ニコンは2024年度までに150ミリ―200ミリメートルのウエハーに対応したi線の半導体露光装置を投入する。同社が同タイプの新製品を発売するのは27年ぶりになるとみられる。従来機と比べてスループットを向上するほか、消費電力を低減する。i線は非先端の技術だが、車載用を中心に需要が広がるパワー半導…