クラレは半導体用CMP（化学的機械研磨）パッドの生産能力を倍増する。倉敷事業所（岡山県倉敷市）で増強を図り、今年中に稼働させる。手がけるのは硬質な無発泡ポリウレタン製のCMPパッド。一般的な発泡ポリウレタン製に比べ、凸部の研磨性に優れるほか、摩耗しにくいため長寿命でコストダウンにつなが…
クラレは半導体用CMP（化学的機械研磨）パッドの生産能力を倍増する。倉敷事業所（岡山県倉敷市）で増強を図り、今年中に稼働させる。手がけるのは硬質な無発泡ポリウレタン製のCMPパッド。一般的な発泡ポリウレタン製に比べ、凸部の研磨性に優れるほか、摩耗しにくいため長寿命でコストダウンにつなが…