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HVPE法による6インチウェハ上への酸化ガリウム成膜にノベルなどが成功
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Wpmaster
03/01/2022
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新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)の「戦略的省エネルギー技術革新プログラム」において、ノ…
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