日本ゼオン、半導体材料巻き返し、EUVレジスト参入めざす

 日本ゼオンが従来と異なる視点で最先端の半導体材料の開発をさらに進める。電子線レジストで採用する主鎖切断型の技術で参入を目指すのがEUV(極紫外線)レジスト市場..

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