明電舎、バッチ式常温成膜装置を開発、半導体向け

 明電舎は、半導体向けを中心に電子機器事業の拡充を図る。純度100%のオゾン(ピュアオゾン)を用いた常温での成膜技術の応用展開を加速させるほか、半導体製造装置向..

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