静電気がウエハーに害を与えるのも防ぐ静電気除去装置メーカーのTRINC（トリンク、浜松市）は、半導体の基板であるウエハーを保管するための装置「クリーン保管車」を発売した。静電気除去作用のあるイオンを内部で発生させ、ほこりなどの異物を効率よく取り除く。税別価格は238万5000円。半導体工場な…
静電気がウエハーに害を与えるのも防ぐ静電気除去装置メーカーのTRINC（トリンク、浜松市）は、半導体の基板であるウエハーを保管するための装置「クリーン保管車」を発売した。静電気除去作用のあるイオンを内部で発生させ、ほこりなどの異物を効率よく取り除く。税別価格は238万5000円。半導体工場な…