AGC、EUV露光用フォトマスクブランクスの生産能力増強を決定 （マイナビ）

AGCは1月25日、グループ会社であるAGCエレクトロニクスにおいて、EUV向けフォトマスクブランクス(EUVマスクブランクス)の生産能力を増強することを決定したと発表した。 フォトマスクブランクスはフォトマスクの材料で、半導体の露光プロセスで用いられている。 EUVマスクブランクス (提供:AGC) 今回の…