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静電チャックの需要増に対応するため大分県中津市に建設した生産工場=TOTO提供 半導体需要が世界的に活況となる中、住宅設備メーカー、TOTO(北九州市)のセラミック事業が好調だ。けん引役となっているのは、半導体製造装置に欠かせない「静電チャック」と呼ばれる部材だ。衛生陶器を手がける中で培…