荏原製作所の熊本工場＝南関町 産業用機械メーカーの荏原製作所は14日、半導体製造装置を生産する熊本事業所（南関町）内に3棟目となる新工場を建設すると発表した。半導体の基盤となるウエハーを研磨する「CMP装置」の生産能力を急拡大させ、世界的な半導体需要の高まりに対応する。 同事業所は敷地面…
荏原製作所の熊本工場＝南関町 産業用機械メーカーの荏原製作所は14日、半導体製造装置を生産する熊本事業所（南関町）内に3棟目となる新工場を建設すると発表した。半導体の基盤となるウエハーを研磨する「CMP装置」の生産能力を急拡大させ、世界的な半導体需要の高まりに対応する。 同事業所は敷地面…