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アドテックプラズマテクノロジーは主力のプラズマ用高周波電源の生産能力を高める。半導体製造装置に組み込まれる電源で、半導体需要の高まりにより受注が供給能力を大幅に上回っている。ベトナムや栃木県の子会社で増員やライン増設を進め、半導体分野向けの生産能力を月産1000台から3月以降には倍増…