名古屋大学の後藤和泰助教と東京大学の福谷克之教授らは、電子を通しつつ表面を保護する酸化ケイ素膜を開発した。薄膜中にケイ素のナノ結晶を含み、これが電子の通り道になる。同時に酸化ケイ素が不動態として表面を覆い、デバイスを守る。次世代太陽電池などに提案していく。 酸化ケイ素で成膜する際…
名古屋大学の後藤和泰助教と東京大学の福谷克之教授らは、電子を通しつつ表面を保護する酸化ケイ素膜を開発した。薄膜中にケイ素のナノ結晶を含み、これが電子の通り道になる。同時に酸化ケイ素が不動態として表面を覆い、デバイスを守る。次世代太陽電池などに提案していく。 酸化ケイ素で成膜する際…