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ウクライナ産のNeガスの供給が止まれば、蘭ASMLの露光装置も使えない Bloomberg 焦点1 半導体不足は続く 光源用ガスに供給不安 要の露光工程に影響も＝津田建二 半導体材料の供給面でウクライナ侵攻の影響は大きい。ロシアからの輸出に関しては、不活性ガスのネオン（Ne）、エッチングガスのC?F?、レア…