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東京エレクトロン(TEL)は3月31日、半導体市場の需要拡大に対応することを目的に、製造子会社である熊本県の東京エレクトロン九州 合志事業所に開発棟を新設することを発表した。 東京エレクトロン九州では、半導体向けコータ/デベロッパやサーフェスプレパレーション装置、FPD向けコータ/デベロッパの…