半導体製造向けイオン注入ソリューションを手掛けるAxcelis Technologiesは3月31日(米国時間)、発注先の日本の主要パワーデバイス・チップメーカーに向けて、自社の高エネルギーイオン注入装置「Purion XEシリーズ」ならびに中電流イオン注入装置「Purion Mシリーズ」の追加出荷を開始したことを発表し…
半導体製造向けイオン注入ソリューションを手掛けるAxcelis Technologiesは3月31日(米国時間)、発注先の日本の主要パワーデバイス・チップメーカーに向けて、自社の高エネルギーイオン注入装置「Purion XEシリーズ」ならびに中電流イオン注入装置「Purion Mシリーズ」の追加出荷を開始したことを発表し…