EUV露光用フォトマスクブランクスの生産能力を増強、現在の約2倍に （MONOist）

AGCは2022年1月25日、グループ会社のAGCエレクトロニクスで、EUV露光用フォトマスクブランクス（EUVマスクブランクス）の生産能力を増強すると発表した。2023年1月から生産を開始し、段階的に増強して2024年にAGCグループのEUVマスクブランクス生産能力を現在の約2倍に高める。 半導体生産でのEUVプロ…