Lam Researchは2月9日(米国時間)、ゲートオールアラウンド(GAA)構造のトランジスタ開発に取り組む半導体メーカー向けに新規ケミストリを採用した3種類の高選択エッチング装置を発表した。 Lam Researchの高選択エッチング装置「Selis」の外観 (提供:Lam Research) ムーアの法則を今後も維持していくた…
Lam Researchは2月9日(米国時間)、ゲートオールアラウンド(GAA)構造のトランジスタ開発に取り組む半導体メーカー向けに新規ケミストリを採用した3種類の高選択エッチング装置を発表した。 Lam Researchの高選択エッチング装置「Selis」の外観 (提供:Lam Research) ムーアの法則を今後も維持していくた…